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13933151511大(dà)夥兒應當都了解,在生(shēng)產製造處理芯片的(de)情況下,有兩個大中型機器設備,一個是(shì)光刻技術,此外一個便是蝕刻機,那麼有的盆友便會問,什麽叫光刻技術,什麽叫蝕刻機,它倆究竟有什麽差別呢?今日我們就跟大夥兒好好說說(shuō)哈,當期知識要點很聚集,大(dà)夥兒都聽好了哈。
這倆設備簡易的表述便是光刻技術把原理圖投(tóu)射到遮蓋有光刻技術的單晶矽片(piàn)上邊,刻蝕機再把(bǎ)剛剛畫了原理圖的單晶矽片上的不(bú)必要原理圖浸蝕掉,那樣看上去好像沒有什麽難的(de),可是有一個品牌形象的形容,每一塊處理芯片上邊的電源電路構造變大(dà)成千上萬倍(bèi)看(kàn)來比全(quán)部北京市都繁雜,這就是這光刻技術和蝕刻的難度係數。
光刻(kè)技術的(de)全過程就是目前製做好的矽圓表層塗上一層(céng)光刻技術(一種能夠被(bèi)光浸蝕的膠狀物化學(xué)物質),接下去(qù)根據光源(加工工藝難度係數紫外線<深紫外線<極紫外線)通過掩(yǎn)膜照射矽圓表層(céng)(相近投射),由於光刻技術(shù)的遮蓋,照射(shè)的一部分被浸蝕掉,沒有陽光照射的一部分被(bèi)留(liú)下(xià),這些就(jiù)是必須的電源電路構造。
蝕刻(kè)分(fèn)成二種,一種是幹刻,一種是濕刻(kè)(現階(jiē)段流行),說白了,濕(shī)刻便是全(quán)過(guò)程(chéng)中有冰(bīng)添加,將上邊曆(lì)經光刻技術的圓晶與特殊的化學溶液反映,除掉(diào)不用的一部分,剩餘的就是電源電路構造了,幹刻現階(jiē)段都還沒完成商業服務批量生產,其基本原理是根據等離(lí)子技術替代化學溶液,除去不用的矽圓一部分。
現階段在我國光刻技術和(hé)蝕刻機的發展趨勢非常尷尬,歸屬於(yú)比較(jiào)嚴重兩極分化的狀況,中微半導體7nm蝕刻機的批量生產,立即(jí)邁進全(quán)球隊伍,5nm蝕刻機也在試驗環節,在這裏兩條道路上,蝕刻機要繼續努力,而光刻技術(shù)則必須奮起直追。
河北瑞(ruì)思特電子科技有限公司是專業(yè)從事軍工、航天領域(yù)高端電鍍設備、精密蝕刻設備,陽極氧化設(shè)備、五(wǔ)金蝕刻機及配套廢水處理和(hé)廢氣治(zhì)理環保設備的五金蝕(shí)刻設備廠家。